英文 首頁
A

關于我們

About Us

北京華卓精科科技股份有限公司由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和02專項的支持下創立,是一家肩負著專項重大科研成果產業化重任的高新技術企業。公司建立初衷在于將清華大學在02專項中積累的高端壟斷技術落地產業化,通過“技術輻射&下行”的方式,面向國內市場提供產業界急需的高端零部件、子系統類產品。華卓精科主要從事半導體制造裝備及其關鍵零部件研發、設計、生產、銷售與技術服務。

公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。

公司的經營范圍:技術開發、技術推廣、技術轉讓、技術咨詢、技術服務、技術培訓;計算機系統服務、數據處理、計算機維修;基礎軟件服務、應用軟件服務;貨物進出口、技術進出口、代理進出口;工程和技術研究與試驗發展;銷售機械設備、通訊設備、金屬材料、電子產品、計算機、軟件及輔助設備、五金、交電;組裝生產電子工業設備、加工金屬零部件(限分支機構經營)。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后依批準的內容開展經營活動。)

2015年8月10日,有限公司整體變更為股份有限公司。


主營業務及主要產品介紹
        華卓精科面向國內外的IC制造、光學、超精密制造等行業,致力于為行業提供整機裝備、核心子系統、關鍵零部件和定制服務,主營產品包含高端整機、超精密運動系統、精密儀器設備和高端特種制造等方面。華卓精科以國內著名高校的原發技術為基礎,經過多年技術攻關和客戶實用,形成了堅實規范的技術研發體系,現在已經成功推出了光刻機雙工件臺、精密隔振、超精密運動系統、關鍵零部件等系列化產品。

主要產品介紹

產品名稱

應用領域

產品簡介

光刻機

工件臺系統

該產品雙臺系列主要應用于65nm及以下節點的ArF干式、浸沒式步進掃描光刻機、KrF步進掃描光刻機,單臺系列產品應用于i線、g線步進掃描光刻機及封裝光刻機等。

產品采用具有自主知識產權的平面磁浮、平面氣浮、6自由度磁浮微動臺等核心技術,包含獨有的超精密結構、超精密驅動、超精密檢測以及納米精度運動控制等成套關鍵核心技術并形成完整知識產權保護體系,具有高速雙臺交換、6自由度納米精度定位控制功能,最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s、軌跡跟蹤誤差MA(移動平均)小于2nmMSD(移動標準差)小于5nm、建立時間小于10ms,能滿足高端光刻機套刻分辨率及產率需求。

超精密運動

定位平臺

該產品廣泛應用于光學高分辨率檢測、電子及半導體制造裝備、激光精密加工等行業領域。

基于光刻機工件臺原發技術,面向市場提供國產化高端先進的超精密運動系統解決方案。采用了先進的模塊化、標準化、快速集成模式,能夠提供高端個性化定制服務。目前可為市場提供涉及5個系列的30余款產品,其中部分產品正在逐步替代進口同類產品。

高性能主動
隔振系統

該產品廣泛應用于制造、檢測領域的精密/超精密儀器、設備的隔振與減震。也可應用于科研院所的精密/超精密儀器、設備隔振。

公司自2004年起開展主被動隔振技術及產品研制開發,目前已掌握主被動隔振關鍵核心技術及工程化應用能力,并形成具備5大系列、30余款產品的產品體系,同時可為用戶提供定制化的系統方案服務,其中部分隔振器已逐步替代進口同類產品。

激光快速

退火設備

主要應用于IGBT(絕緣柵場效應晶體管)背退火,還可應用于集成電路超淺結快速退火以及太陽能、TFTLEDMEMS等領域。

該產品是依托專利工藝技術以及公司自有整機裝備研發能力,面向特定市場推出的IGBT激光快速背退火工藝裝備。該裝備可實現退火深度精確調節、離子激活率精準控制,以及不損傷超薄晶圓正面已加工器件等獨特優勢。

靜電卡盤

該產品廣泛應用于PVDPECVDETCHEUVL、離子注入等高端半導體制造裝備。

靜電卡盤(Electrostatic ChuckE-CHUCK)是一種適用于真空環境或等離子體環境的超潔凈晶圓片承載體,它利用靜電吸附原理進行超薄晶圓片的平整均勻夾持,華卓精科在承擔國家02重大專項相關課題的基礎上,通過技術攻關,已掌握相關核心技術并實現產品化。


泳坛夺金游戏