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華卓精科榮獲2018年度北京市科學技術一等獎

發布人:北京華卓精科科技股份有限公司 發布時間:2019-03-02 瀏覽次數:2363


     2019年3月1日上午,北京市委、市政府隆重召開2018年度北京市科學技術獎勵大會暨2019年全國科技創新中心建設工作會議。市委書記蔡奇,市委副書記、市長陳吉寧等領導為科技工作者頒獎,對他們為全國科技創新中心建設作出的貢獻致以崇高敬意和熱烈祝賀。


      由清華大學及北京華卓精科科技股份有限公司共同完成的“納米運動精度光刻機超精密雙工件臺技術與應用榮獲2018年度北京市科學技術獎一等獎。




完成單位:清華大學  北京華卓精科科技股份有限公司

完成人:朱煜 張鳴 楊開明 胡金春 成榮 李鑫 胡楚雄 尹文生 徐登峰 穆海華 王磊杰 張利 胡海 張永剛 李曉通

成果介紹:

我國集成電路產業發展受制于集成電路制造裝備,尤其是技術難度最高、最核心的裝備—光刻機。該成果是由清華大學IC裝備團隊歷經十五年的研究攻關,突破了納米運動精度超精密光刻機雙工件臺系列關鍵技術,獲授權發明專利126項、其中授權美國專利13項。華卓精科通過專利技術轉讓與技術轉移,實現了光刻機雙工件臺的產品化、產業化,標志著我國成為世界上第二個掌握這一頂尖技術的國家。

同時,華卓精科通過對該成果相關的超精密機械設計、超精密測量、納米運動精度控制等技術的推廣與應用,研發出面向高端制造裝備的系列化精密運動系統,支撐華卓精科快速成長為國內領先的中高端運動系統提供商。華卓精科研發的高性能運動系統已批量應用于半導體制造、生物檢測等行業,實現直接經濟效益2.3億元,通過推廣應用實現間接經濟效益7.45億元。

據悉,2018年共有212項成果榮獲北京市科學技術獎,包括一等獎24項,二等獎58項,三等獎130項。這些成果服務創新型國家建設,面向國際前沿熱點領域,支撐經濟高質量發展,全面提升了全國科技創新中心的引領性和影響力。


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