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華卓精科獲1.39億國家科技重大專項資金

發布人:北京華卓精科科技股份有限公司 發布時間:2018-09-25 瀏覽次數:3552

      9月21日,華卓精科(834733)發布公告稱,公司近日收到北京市經濟和信息化委員會撥付的國家科技重大專項中央財政資金合計1.39億元。

      公告顯示,華卓精科此次收到的專項資金項目為兩個,分別是“浸沒式光刻機雙工件臺產品研制與能力建設”項目5291.1萬元、“浸沒雙工件臺平面光柵位置測量系統研發”項目8614.1萬元。


       華卓精科是一家專注集成電路高端整機裝備、超精密運動系統、精密儀器設備的國家級高新技術企業。從2009年開始承擔國家光刻機重大專項,針對65納米雙工件臺樣機開展研發,突破了包括超精密機械設計、超精密測量、超精密運動控制等多項關鍵技術,于2014年成功研制出我國第一臺采用平面電機技術的65納米光刻機雙工件臺樣機,實現2納米同步運動精度,達到國際同類產品先進水平,實現了跨越式發展,使我國成為世界上第二個掌握該技術的國家。



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