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未來精密之“芯”,牽動國人心——朱煜教授專訪

發布人:北京華卓精科科技股份有限公司 發布時間:2018-05-18 瀏覽次數:4711

2018年5月13日,國家重大專項02專項技術副總師、清華大學教授、博士生導師、國家萬人計劃首批科技創新領軍人才、科技部首批重點領域超精密機械與測控創新團隊負責人、北京華卓精科科技股份有限公司企業創始人、首席科學家朱煜博士及其領導的技術團隊接受了北京電視臺財經頻道《首都經濟報道》欄目專題的專題采訪。采訪聚焦了朱煜教授在集成電路制造裝備和材料等方面的長期規劃、研究和實踐,對他和他的團隊在十七年中潛心鉆研光刻機工件臺技術,并取得了卓越的成就進行了大篇幅的報道。

在報道中,朱煜教授精準地總結了中國芯片制造行業核心技術受制于國外的發展現狀。近日,伴隨著美國制裁中興事件的熱度,中國芯片及元器件制造的問題再度引發討論。而十七年如一日在集成電路制造裝備領域鉆研自主制造技術的朱煜教授認為,國產芯片制造受到制約的關鍵是,生產芯片的裝備目前還處在依靠外國技術的階段。而國外進口相關裝備,如光刻機,都要接受國外審查。一旦限制出口,則對中國芯片與相關科技領域產生極大牽制。

集成電路制造核心技術只有早日實現自主化與產業化,中國芯片產業才能早日轉變依賴進口的不良局面。光刻機是芯片生產線中處于核心地位的制造裝備,能夠讓國有芯片生產行業擺脫對國外技術的依賴,實現生產自主可控的集成電路,即芯片。

而在朱煜教授帶領下,集成電路制造裝備中最核心的裝備——光刻機雙工件臺的相關技藝獲得了技術上的兩個跨越。并在此技術上,瞄準國際前沿水平,再歷經七年的攻關,完成了基于平面電機的雙工件臺技術攻關。目前,已經基本實現了在光刻方面不再受制于人。

該欄目通過對朱煜教授的研究歷程和成果的全面報道,展現出科技領域產學研人才在中國芯片領域的不懈努力,也展現出我國在核心技術層面的發展速度正不斷加快。正如朱煜教授所言:“大家埋頭苦干,是可以實現核心技術的自主可控的。”


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